《衡量晶圆级可靠性》课程概述

晶圆级可靠性测试介绍

在本节课中，您将了解NI晶圆级可靠性测试解决方案的用途，以及哪些资源可以帮助您将该解决方案集成到大型测试系统中。

• 传统NI WLR系统和解决方案所面临的挑战
• 了解WLR相关的其他培训资料

了解参数测试系统硬件

在本节课中，您将了解参数测试系统的硬件组件。

• 了解PTS硬件
• 让参数测试系统准备就绪

了解Wafer-Level Reliability Test Software

在本节课中，您将了解作为Wafer Level Reliability Test Software的一部分进行安装的软件组件。

• WLR软件概述
• 安装WLR Test Software
• 了解WLR Test Software组件 

连接DUT

在本节课中，您将了解如何定义晶圆，识别要在晶圆上测试的DUT，以及将SMU通道映射到DUT。

• 配置晶圆
• 将SMU通道映射到DUT
• 准备配置文件

执行补偿

在本节课中，您将了解在执行WLR测试之前如何进行SMU补偿，从而确保结果的准确性。

• 什么是补偿？
• 执行开路和短路补偿

执行TDDB测试

在本节课中，您将了解如何使用WLR Test Software的前面板来执行TDDB测试以及查看结果。

• TDDB测试概述
• 执行TDDB应力测试

执行HCI/BTI测试

在本节课中，您将了解如何使用WLR Test Software的前面板来执行HCI/BTI测试以及查看结果。

• 热载波注入(HCI)测试概述
• 偏置温度不稳定性(BTI)测试概述
• 执行HCI/BTI应力测试

配置适用于WLR测试序列的高级选项

在本节课中，您将了解多个测试序列配置选项，满足更广泛的WLR测试需求。

• 测试晶圆盒
• 提高测量确定性
• 提高设备映射灵活性 
• 采用电流源模式

自定义测试执行

在本节课中，您将了解如何通过向测试执行中添加自定义测试步骤来修改测试流程。

• 了解常见的测试执行自定义

常见问题故障分析

在本节课中，您将了解如何调试系统配置、系统操作以及测试执行中的常见问题并进行故障分析。

• 常规故障分析工作流程
• 调试配置文件映射错误并选择自定义配置文件