Remote Head Ultra-Fast Parametric IV 量測裝置

RH-5460

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雙通道、+10 V、+10 mA 遠端頭脈衝 IV 量測裝置—RH-5460 是一款參數 IV 量測裝置適用於半導體製程研究與穩定性測試。此裝置使用組合的連接線配件以介接 PXIe-5433 PXI 波形產生器、PXIe-5172 PXI 示波器和最多 2 個 PXIe-4135 PXI 電源量測單元 (SMU)。在快速 IV 模式中可產生最高 ±10 V、±10 mA 或 20 MHz 的任意波形並整合電壓與電流量測。此外波形產生模式具有 50 Ω 輸出阻抗不需電流量測功能即可產生最高 ±5 V、±10 mA 或 50 MHz 的任意波形。最後透過 SMU 模式即可使用 RH-5460 執行一般或低電流的 4 象限電源量測作業並同步量測電壓與電流。