主页 解决方案 半导体解决方案 晶圆级参数测试 提供高度​并行​的晶圆级可靠性，缩短产品上市时间

提供高度​并行​的晶圆级可靠性，缩短产品上市时间

半导体芯片在日益小型化的同时，复杂性却随之增加，自动驾驶汽车等主要技术也在不断发展，半导体供应链的厂商面临着前所未有的压力：需要提供比以往更加优质且有保障的产品。为了满足这些颇具挑战性的要求，并在竞争中率先发布稳定的技术节点，半导体晶圆工艺的工程师亟需更快速地获取更多可靠性测量数据。

 

晶圆级可靠性(WLR)解决方案必须满足以下关键要求：

 

  • 支持晶圆技术节点开发、工艺集成和工艺监测
  • 快速生成足够多的可靠性测量数据，从而构建准确的统计模型，根据数据做出有据可依的决策
  • 符合常见故障机制（TDDB、HCI和BTI/NBTI、Vramp、Jramp等）的JEDEC标准
  • 减少总WLR测试时间，提高数据传输速度
  • 最大化资本支出和晶圆厂空间的利用率

半导体晶圆级可靠性解决方案

  • 高度​并行​的WLR解决方案，提供更高的通道密度和测量速度
  • 单个参数测试系统中配备多达48个PXIe-4135fA类SMU通道
  • 模块化和独立式SMU，具有真正“每​引​脚SMU”架构
  • 符合JEDEC标准的专业应用软件包括行业标准的测试序列生成器、设备和晶圆映射、可自定义的操作界面、探针自动化等

解决方案的优势

  • 大幅缩短WLR测试周期（从几个月缩短到数天），提供行业领先的并行性和测量速度

  • 采用高度灵活的“每引脚SMU”架构，通道数可配置且可升级。

  • 使用我们的WLR测试软前面板和API，快速简单地执行JEDEC可靠性测试

  • 为远程系统管理和数据分析提供可选的附加软件

WLR Test Software：功能强大的应用软件和API

更为简单的可靠性信息提取

了解NI的WLR测试软件如何通过可自定义的操作界面、行业标准测试序列生成器以及抽象并行性和多线程功能简化JEDEC可靠性测试。

“每​引​脚SMU”方法非常高效，大幅缩短了测试时间，这是大型传统台式SMU难以企及的。由于这一方法可实现并行测量，不需要按顺序进行测量，节省了中间的切换步骤，因此总测试时间大幅减少，仅为一个测试点的测试时间。”

— Bart De Wachter，imec半导体技术和系统小组研究员

利用NI生态系统，构建解决方案

NI提供了各种集成解决方案供您选择，可满足您的特定应用需求。​您可以将系统集成工作完全交给公司内部的集成团队，也可寻求NI以及遍布全球的NI合作伙伴联盟的帮助，获取完整的一站式解决方案。

NI合作伙伴网络

NI合作伙伴网络是一个由领域专家、应用专家和整体测试开发专家组成的全球社区，与NI紧密合作，全力满足工程界的需求。NI合作伙伴包含了解决方案提供商、系统集成商、顾问、产品开发人员以及服务和销售渠道专家，他们在诸多行业和应用领域都有着丰富的经验，值得您信赖。

服务与支持

在应用的整个生命周期中，NI将与客户携手同行​，随时提供培训、技​术支持、咨询和集成服务以及维护计划。团队可以参与到NI不同地区的用户组，进行学习交流从而获取新技能，也可通过在线和面授培训来提高自身的技能水平。

半导体晶圆级可靠性解决方案手册

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