2通道、+10 V、+10 mA远程前端脉冲I-V测量设备—RH-5460是用于半导体工艺研究和可靠性测试的参数I-V测量设备。该设备使用捆绑式线缆附件与PXIe-5433 PXI波形发生器、PXIe-5172 PXI示波器和最多2个PXIe-4135 PXI源测量单元(SMU)连接。在快速I-V模式下，通过集成电压和电流测量可生成高达±10 V、±10 mA或20 MHz的任意WaveForms。此外，波形生成模式具有50 Ω输出阻抗，可在无电流测量功能的情况下生成最快可能的任意WaveForms，最高±5 V、±10 mA或50 MHz。最后，在SMU模式下，可使用RH-5460执行通用或低电流四象限源测量操作，同时测量电压和电流。