Messen der Zuverlässigkeit auf Wafer-Level – Kursübersicht

Einführung in die Zuverlässigkeitstest auf Wafer-Level

In dieser Lektion erfahren Sie mehr über den Zweck der NI-Lösung für Zuverlässigkeitsprüfungen auf Waferebene und erfahren, welche Ressourcen für die Integration in ein größeres Prüfsystem zur Verfügung stehen.

• Herausforderungen herkömmlicher WLR-Systeme und von NI bereitgestellte Lösungen
• Weitere WLR-Lernmaterialien erkunden

Hardware des parametrischen Testsystems kennenlernen

In dieser Lektion lernen Sie die Hardwarekomponenten des parametrischen Testsystems kennen.

• PTS-Hardware kennenlernen
• Vorbereiten des parametrischen Testsystems

Testsoftware für die Zuverlässigkeitsprüfung auf Wafer-Ebene kennenlernen

In dieser Lektion schauen Sie sich die Softwarekomponenten an, die als Teil der Testsoftware für Zuverlässigkeitstest auf Wafer-Level installiert sind.

• WLR-Softwareüberblick
• Installieren der WLR Test Software
• Komponenten der WLR Test Software entdecken. 

Verbinden mit den Prüflingen

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie einen Wafer definieren, Prüflinge identifizieren, die Sie auf dem Wafer testen wollen, und wie Sie den Prüflingen SMU-Kanäle zuordnen.

• Konfigurieren eines Wafers
• Zuordnung von SMU-Kanälen zum Prüfling
• Vorbereiten der Konfigurationsdateien

Durchführen einer Kompensierung

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie SMUs vor dem Durchführen von WLR-Tests kompensieren, um genaue Testergebnisse zu gewährleisten.

• Was ist Kompensierung?
• Offene und kurze Kompensierung durchführen

Durchführen von TDDB-Tests

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie mit dem WLR-Test-Soft-Frontpanel einen TDDB-Test durchführen und sich die Ergebnisse anzeigen lassen.

• Überblick über TDDB-Tests
• Durchführen eines TDDB-Stresstests

Durchführen von HCI/BTI-Tests

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie mit dem WLR-Test-Soft-Frontpanel einen HCI/BTI-Test durchführen und sich die Ergebnisse anzeigen lassen.

• Überblick über die HCI-Prüfung (Hot Carrier Injection)
• Überblick über BTI-Tests (Bias Temperature Instability)
• Durchführung von HCI/BTI-Stresstests

Konfigurieren von fortgeschrittenen Optionen für WLR-Testsequenzen

In dieser Lektion lernen Sie die Optionen kennen, mit denen Sie Ihre Testsequenz so konfigurieren können, dass sie eine breitere Auswahl an WLR-Testanforderungen verarbeiten kann.

• Testen einer Kassette mit Wafern
• Verbessern des Determinismus Ihrer Messungen
• Verbessern der Flexibilität der Gerätezuordnung 
• Benutzung des Stromquellenmodus

Anpassung der Testdurchführung

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie den Prüfablauf durch Hinzufügen benutzerdefinierter Prüfschritte zur Ausführung der Prüfung anpassen können.

• Allgemeine Anpassungen der Testdurchführung kennenlernen

Fehlersuche bei allgemeinen Problemen

In dieser Lektion lernen Sie, wie Sie häufige Probleme bei der Systemkonfiguration, dem Systembetrieb und der Testdurchführung beheben können.

• Allgemeiner Arbeitsablauf bei der Fehlersuche
• Fehlerbehandlung von Zuordnungsfehlern bei Konfigurationsdateien und Auswahl von benutzerdefinierten Konfigurationsdateien