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並列性の高いウェーハレベル信頼性テストで市場投入までの期間を短縮

半導体デバイス形状の小型化、複雑化が進む一方で、自動運転車などの大きな技術動向を受けて、製品品質の保証を高めなければならないという半導体サプライチェーンへのプレッシャーがさらに高まっています。こうした困難な要求に応えつつ、競合他社に先駆けて安定したテクノロジノードをリリースするためには、より多くの信頼性計測データが必要であり、半導体ウェーハプロセスに携わるエンジニアはそうしたデータをかつてないほど迅速に必要としています。

 

ウェーハレベル信頼性テスト (WLR) ソリューションは以下の重要な要件に対応する必要があります。

 

  • ウェーハテクノロジノードの開発、プロセスの統合、およびプロセスの監視をサポートする
  • 十分な量の信頼性計測データを迅速に生成し、正確な統計モデルを構築し、データ駆動型の意思決定を支援する
  • 一般的な故障メカニズムに関するJEDEC規格 (TDDB、HCI、BTI/NBTI、Vramp、Jrampなど) に準拠する
  • WLRテストの総時間を減らし、データ速度を高速化する
  • 設備投資と製造フロアの効率を最大化する

半導体ウェーハレベル信頼性テストソリューション

  • チャンネル密度と測定速度の向上を目的に最適化された、並列性の高いWLRソリューション
  • 1つのパラメトリックテストシステムで、最大48個のPXIe-4135fAクラスSMUチャンネル
  • 真の意味で「SMU-per-pin」アーキテクチャを備えたモジュール式、独立型のSMU
  • 業界標準のテストシーケンサ、デバイスとウェーハのマッピング、カスタマイズ可能なオペレータインタフェース、プローバのオートメーションなどを含む、JEDEC準拠の専用アプリケーションソフトウェア

ソリューションのメリット

WLR Test Software:高機能なアプリケーションソフトウェアとAPI

シンプルになった信頼性への洞察

カスタマイズ可能なオペレータインタフェース、業界標準のテストシーケンサ、抽象化された並列処理、およびマルチスレッド処理機能を持つNIのWLRテストソフトウェアで、JEDEC信頼性テストをより簡単に実行できるようになります。その方法を確認してください。

「このSMU-per-pinアーキテクチャを使用したテスト時間の短縮は、まさに目を見張るほど素晴らしいものであり、従来の大きなスタンドアロンSMUでは不可能です。私たちの方法では、スイッチングとシリアル化された計測時間がなくなり、総テスト時間は単一のテストポイントをテストする時間にまで短縮されました」

-Bart De Wachter、imec半導体テクノロジおよびシステムグループ研究員

NIのエコシステムでソリューションを構築

NIでは、アプリケーション固有の要件に合わせてカスタマイズされた、さまざまなソリューション統合オプションを提供しています。社内で統合チームを組織してシステムを完全に統括することも、NIと世界各地のNIパートナーネットワークの専門技術を活用したターンキーソリューションをご利用いただくことも可能です。

サービスとサポート

NIは、トレーニング、技術サポート、コンサルティングと統合サービス、メンテナンスプログラムによって、アプリケーションのライフサイクル全体を通してお客様との緊密な関係を築きます。お客様のチームは、NIの地域別ユーザグループに参加することで新たなスキルを発見でき、オンライントレーニングおよび対面型トレーニングで習熟度を高めることができます。

半導体ウェーハレベル信頼性テストソリューションパンフレット

NIの半導体ウェーハレベル信頼性テストソリューションの詳細をご確認ください。