リモートヘッド超高速パラメトリックI-V測定デバイス

RH-5460

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2チャンネル、+10 V、+10 mAリモートヘッドパルスI-V測定デバイス—RH-5460は、半導体プロセス研究および信頼性テスト用のパラメトリックI-V測定デバイスです。このデバイスは、バンドルされたケーブルアクセサリを使用して、PXIe-5433 PXI波形発生器、PXIe-5172 PXIオシロスコープ、および最大2つのPXIe-4135 PXIソースメジャーユニット(SMU)と通信します。高速 I-V モードでは、最大 ±10 V、±10 mA、または 20 MHz の任意 WaveForms を生成できます。さらに、パターン生成モードでは、50 Ωの出力インピーダンスにより、電流測定機能なしで最大±5 V、±10 mA、または50 MHzの最速任意WaveFormsを生成できます。最後に、SMUモードでは、RH-5460を使用して、汎用または低電流の4象限ソース測定操作を電圧および電流の同時測定で実行できます。