웨이퍼 레벨 신뢰성 측정하기 교육과정

웨이퍼 레벨 신뢰성 테스트 소개

이 과에서는 웨이퍼 레벨 신뢰성 테스트를 위한 NI 솔루션의 목적을 살펴보고 보다 큰 테스트 시스템에 통합할 수 있는 리소스를 찾습니다.

• NI가 제공하는 기존 WLR 시스템 및 솔루션의 과제
• 다른 WLR 학습 자료 살펴보기

파라미터형 테스트 시스템 하드웨어 살펴보기

이 과에서는 파라미터형 테스트 시스템의 하드웨어 구성요소를 살펴봅니다.

• PTS 하드웨어 살펴보기
• 파라미터형 테스트 시스템 준비하기

웨이퍼 레벨 신뢰성 테스트 소프트웨어 살펴보기

이 과에서는 웨이퍼 레벨 신뢰성 테스트 소프트웨어의 일부로 설치되는 소프트웨어 구성요소를 살펴봅니다.

• WLR 소프트웨어 개요
• WLR 테스트 소프트웨어 설치하기
• WLR 테스트 소프트웨어 구성요소 살펴보기 

DUT에 연결하기

이 과에서는 웨이퍼를 정의하고, 웨이퍼에서 테스트할 DUT를 식별하고, SMU 채널을 DUT에 맵핑하는 방법을 배웁니다.

• 웨이퍼 설정하기
• SMU 채널을 DUT0에 맵핑하기
• 설정 파일 준비하기

보정 수행하기

이 과에서는 WLR 테스트를 수행하기 전에 SMU를 보정하여 정확한 테스트 결과를 보장하는 방법을 배웁니다.

• 보정이란?
• 개방 및 단락 보정 수행하기

TDDB 테스트 수행하기

이 과에서는 WLR 테스트 소프트 프런트패널을 사용하여 TDDB 테스트를 수행하고 결과를 보는 방법을 배웁니다.

• TDDB 테스트 개요
• TDDB 부하 테스트 수행하기

HCI/BTI 테스트 수행하기

이 과에서는 WLR 테스트 소프트 프런트패널을 사용하여 HCI/BTI 테스트를 수행하고 결과를 보는 방법을 배웁니다.

• 핫 캐리어 주입(HCI) 테스트 개요
• 바이어스 온도 불안정성(BTI) 테스트 개요
• HCI/BTI 스트레스 테스트 수행하기

WLR 테스트 시퀀스의 고급 옵션 설정하기

이 과에서는 다양한 WLR 테스트 요구사항을 처리하기 위해 테스트 시퀀스를 설정하는 옵션을 살펴봅니다.

• 웨이퍼 카세트 테스트하기
• 측정의 결정성 향상하기
• 디바이스 맵핑의 유연성 개선하기 
• 전류 소스 모드 사용하기

테스트 실행 사용자 정의하기

이 과에서는 테스트 실행에 사용자 정의 테스트 단계를 추가하여 테스트 흐름을 수정하는 방법을 배웁니다.

• 일반적인 테스트 실행 사용자 정의 살펴보기

일반적인 문제 해결하기

이 과에서는 시스템 설정, 시스템 작동 및 테스트 실행에서 발생하는 일반적인 문제를 디버깅하고 해결하는 방법을 배웁니다.

• 일반적인 문제 해결 작업 흐름
• 설정 파일 맵핑 에러 디버깅하기 및 사용자 정의 설정 파일 선택하기