Measuring Wafer-Level Reliability Course 概述

晶圓級穩定性測試介紹

在本課程中，您將探索 NI 晶圓級穩定性測試解決方案的目的，並找出可用的資源來協助整合至較大的測試系統。

• NI 提供的傳統 WLR 系統和解決方案的挑戰
• 探索其他 WLR 學習教材

探索參數測試系統硬體

在本課程中，您將探索參數測試系統的硬體元件。

• 探索 PTS 硬體
• 準備參數測試系統

探索晶圓級穩定性測試軟體

在本課程中，您將探索安裝到 Wafer Level Reliability Test Software 中的軟體元件。

• WLR Software 概述
• 安裝 WLR Test Software
• 探索 WLR Test Software 元件 

連線至 DUT

在本課程中，您將了解如何定義晶圓、辨別您要在晶圓上測試的 DUT，以及如何將 SMU 通道對應至 DUT。

• 設定晶圓
• 將 SMU 通道對應至 DUT
• 準備設定檔

執行補償

在本課程中，您將學習在執行 WLR 測試前如何執行 SMU 補償，來確保測試結果的正確性。

• 補償是什麼？
• 執行開路和短路補償

執行 TDDB 測試

在本課程中，您將學習如何使用 WLR 測試軟體人機介面來執行 TDDB 測試和檢視結果。

• TDDB 測試概述
• 執行 TDDB 壓力測試

執行 HCI/BTI 測試

在本課程中，您將學習如何使用 WLR 測試軟體人機介面來執行 HCI/BTI 測試和檢視結果。

• 熱載流子注入 (HCI) 測試概述
• 偏壓溫度不穩定性 (BTI) 測試概述
• 執行 HCI/BTI 壓力測試

設定 WLR 測試序列的進階選項

在本課程中，您將了解有哪些測試序列的設定選擇，以滿足更多樣的 WLR 測試需求。

• 測試晶圓盒
• 提升量測作業的精確度
• 提升裝置對應的靈活性 
• 使用電流源模式

客制化測試執行

在本課程中，您將學習如何透過將客制化測試步驟新增到測試執行過程中，以修改測試流程。

• 探索常見測試執行客制化作業

針對常見問題進行疑難排解

在本課程中，您會學習如何針對因系統配置、系統操作和測試執行而產生的常見問題，進行除錯和疑難排解。

• 一般疑難排解工作流程
• 排除設定檔對應錯誤以及選擇客制化設定檔